Om te voldoen aan de hoge- stofvrije- eisen van de precisieproductie van halfgeleiders, optische inspectie en geautomatiseerde apparatuur, en om de precisiestabiliteit en levensduur van precisiegranietbasissen verder te verbeteren, heeft ons bedrijf gestandaardiseerde stof-vrije reinigingsspecificaties geïmplementeerd voor granieten basissen die worden gebruikt in productielijnen voor halfgeleiders. Gebaseerd op jarenlange ervaring met precisiesteenverwerking en daadwerkelijke toepassingsscenario's in halfgeleiderwerkplaatsen, garandeert de gestandaardiseerde en systematische werking de benchmarknauwkeurigheid op de lange- termijn van hoogwaardige- apparatuur.
Halfgeleiderapparatuur vereist een extreem hoge omgevingszuiverheid en vlakheidsnauwkeurigheid. Als kerncomponent zijn granieten basissen zeer gevoelig voor klein stof, vezelpluisjes, olievlekken en vochtresten op het oppervlak. Zelfs kleine verontreinigingen kunnen detectiefouten, positioneringsdrift en lensfocusafwijkingen veroorzaken, wat de opbrengst van halfgeleiderproducten rechtstreeks beïnvloedt. Door de natuurlijke microporeuze structuur van graniet worden fijne deeltjes gemakkelijk aan het oppervlak geabsorbeerd. Gewone schoonmaakmethoden kunnen niet voldoen aan de stof-normen voor werkplaatsen, dus een professioneel, rigoureus en systematisch stof-vrij schoonmaakbeheersysteem is essentieel.
In overeenstemming met de klasse 1000 en klasse 10000 stofvrije werkplaatsnormen heeft ons bedrijf een compleet stofvrij reinigingssysteem opgezet dat zeven hoofddimensies omvat: schoonmaakomgeving, professioneel gereedschap, bedieningsprocedures, cyclusbeheer, personeelsspecificaties, bedieningsverboden en traceerbaarheid van gegevens.
Wat het milieu- en gereedschapsbeheer betreft, worden alle reinigingswerkzaamheden uitgevoerd in een stofvrije ruimte met constante-temperatuur en constante-vochtigheid- om lichte vervorming als gevolg van vochtabsorptie te voorkomen. We gebruiken speciale stof-vrije reinigingskits, waaronder stof-vrije microvezeldoeken, hoog-zuivere ethanol- en stikstofstofpistolen. Gewone doeken, papieren handdoeken, kraanwater, zure en alkalische reinigingsmiddelen zijn ten strengste verboden om secundaire vervuiling en oppervlakteschade te voorkomen.
Wat de bedieningsprocedures betreft, implementeren we een gestandaardiseerd reinigingsmechanisme op drie- niveaus: dagelijkse routinereiniging, wekelijkse dieptereiniging en maandelijks professioneel onderhoud. Dagelijkse verwijdering van zwevend stof en veegbewegingen in één- richting zorgen voor een dagelijkse operationele netheid. Wekelijkse dieptereiniging verwijdert grondig geadsorbeerde deeltjes uit randen, kieren en montagegaten. Het maandelijkse volledige onderhoud omvat het schoonmaken van de apparatuur nadat de apparatuur is uitgeschakeld, her-nauwkeurigheidsinspectie, gegevensregistratie en stofdichtheidsinspectie om een stabiele precisie te behouden bij langdurig- gebruik.
Ondertussen worden voor alle operators strikte normen voor stofvrij{0}}gebruik gehandhaafd. Al het personeel moet een professionele stof-vrije training krijgen en volledige stof-vrije uniformen en handschoenen dragen. Direct contact met blote-handen met benchmarkoppervlakken is verboden om micro-vervuiling veroorzaakt door inademende luchtstromen, haar- en vezelresten te voorkomen, zodat elk reinigingsproces gestandaardiseerd en controleerbaar is.
Om de productkwaliteit op de lange- termijn te garanderen, hebben we volledige schoonmaakgegevens en traceerbaarheidsbeheer opgesteld. Reinigingstijd, operators, omgevingsparameters en her{2}}herinspectiegegevens worden volledig gearchiveerd om een gesloten-gestandaardiseerd managementsysteem te vormen. Dit voorkomt effectief verslechtering van de nauwkeurigheid, oneffenheden in het oppervlak en detectiedrift veroorzaakt door onregelmatige reinigingswerkzaamheden.
Op dit moment is deze reeks stof{0}}vrije reinigingsspecificaties volledig toegepast op de fabrieksinspectie, het opsporen van fouten en de begeleiding van klanten van onze granieten basissen van halfgeleider-kwaliteit. In de toekomst zullen we doorgaan met het verdiepen van precisiegranietverwerkings- en gestandaardiseerde onderhoudssystemen, het voortdurend optimaliseren van het hele proces van productie, polijsten, inspectie en reiniging, en klanten in de halfgeleider-, optische en hoogwaardige--precisieapparatuurindustrieën voorzien van granieten basisproducten met hoge-precisie, hoge-stabiliteit en hoge-duurzaamheid en professionele technische diensten.